


温等静压设备是实施温等静压的先进设备,主要用于多层陶瓷电容、燃料电池、太阳能(6.560, 0.04, 0.61%)基板及其他电子陶瓷制品的压制。传统温等静压机的工作原理是先将增压器水箱温度加热到设定温度,再通过增压器将水箱内加热后的工作介质不断加入工作缸内部,达到所需压力后,增压器通过控制增卸工作开始保压。采用这种工作方式,原先已达到设定温度的工作介质会因受到压力、摩擦等因素影响,其温度会持续上升导致产生较大误差,工作缸内均温性也难以得到保证,在超高压状态下,底部和顶部温度相差较大。
   温等静压机温度均匀性问题是一道难以**的技术难题,公司研发团队经过多次讨论,决定采用在传统温等静压机的基础上增设外循环水箱、工作缸内设计内加热器系统的技术路线,以解决温等静压机误差、均温性不好控制等问题。调试初期,设计人员对温等静压机进行了不同工况下的升温升压实验,但温度均匀性还是达不到指标要求,公司组织技术力量,对不同工况下的数据进行对比、分析,对温等静压机部分结构进行多次改进和试验。在各方共同努力和密切配合下,温等静压机每次的温度均匀性指标均控制在±5℃以内。设备验收过程中,用压制的制品效果良好,满足使用需求,顺利通过验收。

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